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射頻磁控濺射鍍膜裝置

射頻磁控濺射鍍膜裝置

簡要描述:射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:RT-RM-1

主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。

產(chǎn)品型號: RT-RM-1

所屬分類:專業(yè)儀器

更新時間:2024-09-22

廠商性質(zhì):其他

詳情介紹
品牌同德

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號:RT-RM-1

 

主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料??梢赃M(jìn)行直接濺射,亦可以實現(xiàn)反應(yīng)濺射。

射頻磁控濺射鍍膜裝置

主要特點:結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便,真空度維護(hù)高,安全可靠。

 

 

鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,不得高低不平;

2、環(huán)境溫度:10℃~30℃;

3、相對濕度:不大于75%;

4、耗水量(進(jìn)水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;

5、水質(zhì)要求:

矽酸硬度<6度,PH值:78,電導(dǎo)率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。

6、電壓: 220V,50HZ

電壓波動范圍: 198~231V;

頻率波動范圍:49~51Hz;

7、水壓:0.31Kg/cm20.03~0.1MPa/cm2;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

 

設(shè)備規(guī)格參數(shù)

1.1、濺射處理室:

       1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×高度260mm;

       2、試樣臺:直徑80mm(zui大);

       3、試樣旋轉(zhuǎn):靜止;

       4、擋板:手動;

       5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);

       6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;

       7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm;

       8、濺射室限真空:0.5Pa

1.2、真空系統(tǒng):

       1、抽氣系統(tǒng):由機(jī)械泵組成的一級真空系統(tǒng);抽氣速率:4升/S

       2、真空檢測:電阻真空計、電阻規(guī);

       3、常用真空度:1~20Pa

       4、操作:手動

1.3、濺射電源:

1、射頻電源:頻率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 

3、供電:AC 220V;

4、冷卻方式:風(fēng)冷;

  1.4、 磁控靶:

1、靶材直徑:Ф50mm、 一個永磁靶;

2、靶材厚度:3~6mm;

1.5、進(jìn)氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子流量計進(jìn)氣,

1.6、電源要求:AC 220V  50Hz  10A

1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時使用高純)

1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風(fēng)冷

1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg

產(chǎn)品名稱:標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)變模擬儀
產(chǎn)品型號:LK2306

標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)變模擬儀 型號LK2306
標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)變模擬儀 
特點:六個盤共六十個擋, 
LK2306型標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)變模擬儀就是用來完成靜態(tài)電阻應(yīng)變儀的讀數(shù)誤差和靈敏度系數(shù)誤差;動態(tài)應(yīng)變儀的靈敏度系數(shù)誤差、標(biāo)定誤差、振幅特性誤差、衰減誤差等項校驗功能。 
技術(shù)指標(biāo) 
1.測量范圍:0.1~100000με(六盤) 
2.靈敏度系數(shù):K=2.00 
3.基本誤差: 
     DC:±0.05%±0.1με; 
     <5k:±0.05%±0.2με; 
     5k~10k:±0.1%±0.5με 
4.工作頻率:0~10kHz 
5.zui大工作電壓:10V 
6.橋臂不對稱性:≤50με  
7.橋臂電阻:R=120Ω

 

 

 

 

 

產(chǎn)品名稱:臺式數(shù)字特斯拉計
產(chǎn)品型號: HT-118

臺式數(shù)字特斯拉計型號: HT-118

臺式數(shù)字特斯拉計結(jié)合北京同德公司近年對磁性產(chǎn)品的經(jīng)驗和研究成果研制出的一種實用的臺式數(shù)字高斯計。此款高斯計人性化設(shè)計,操作簡單方便,精度達(dá)到0.5%,并可以通過信號輸出端口與計算機(jī)連接,以達(dá)到測量數(shù)據(jù)的存儲和分析。 
  
量程范圍:0-5.000mT、0.00-300.00mT、0.0mT-3000.0mT 
基本誤差:±0.5% 讀數(shù) 
分辨率:0.001m T 、0.01mT、0.1 mT 
被測磁場:DC-200Hz 
功能說明:大值/小值保持、分選功能、多重單位顯示mT、Gs、Oe、kA/m 
環(huán)境溫度:5℃-40℃   
相對濕度:20%-80%(無凝露) 
供電電源:AC220V 50Hz 
外型尺寸:260mm × 300mm × 100mm 
儀器重量:2.8Kg 
顯示方式:字符型背光顯示屏,5位數(shù)字 
顯示單位:mT、Gs、Oe、kA/m 
備    注:1mT=10Gs 
 

 

 

 



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